Título

Estudio de las propiedades termo mecánicas del Polisilicio para su aplicación en sensores inteligentes

Autor

FERNANDO JULIAN QUIÑONES NOVELO

Colaborador

WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA (Asesor de tesis)

FRANCISCO JAVIER DE LA HIDALGA WADE (Asesor de tesis)

Nivel de Acceso

Acceso Abierto

Licencia

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0

Materias

MEMS - (MEMS) Microcantilevers - (MICROCANTILEVERS) Micromechanical devices - (DISPOSITIVOS MICROMECÁNICOS) Microsensors - (MICROSENSORES) Young's modulus - (EL MÓDULO DE YOUNG) CIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA - (CTI) FÍSICA - (CTI) ELECTRÓNICA - (CTI)

Resumen o descripción

Con el propósito de fabricar Sistemas Micro Electro Mecánicos (MEMS, por sus siglas en inglés) de alta calidad y de alto rendimiento, es de suma importancia controlar y cuantificar, las principales propiedades físicas de los materiales que intervienen en éstos dispositivos. En general, cualquier tipo de micro actuador o sensor aprovecha un efecto físico para funcionar.

Durante el diseño de un dispositivo MEMS, lo que se busca es optimizar el desempeño del sensor/actuador; maximizando los efectos físicos que aprovecha dicha estructura. Los efectos físicos comúnmente utilizados son: Efecto electrostático, magnético, electro-térmico, piezoeléctrico y piezoresistivo. A su vez, estos efectos físicos, son consecuencia de las propiedades físicas del material; como por ejemplo: la resistividad eléctrica (ρe), coeficiente de expansión térmica lineal (CTE), conductividad térmica (κ), calor especifico (Cp), módulo de elasticidad (E) y la densidad de material(ρ).

La presente tesis presenta el diseño y el proceso de fabricación del Chip llamado PolyMEMS VII; que permite medir las propiedades termo-mecánicas en películas de Polysilicio. Se propone un esquema de medición confiable, sencillo y de bajo costo para la caracterización mecánica. Así mismo se reporta la caracterización mecánica de las siguientes propiedades: Módulo de Young (E), esfuerzo residual de tensión-compresión mecánica (±σ), gradiente de esfuerzo residual mecánico (±Δε).

Editor

Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica

Fecha de publicación

junio de 2014

Tipo de publicación

Tesis de doctorado

Versión de la publicación

Versión aceptada

Recurso de información

http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/153

Formato

application/pdf

Idioma

Español

Audiencia

Estudiantes

Investigadores

Público en general

Sugerencia de citación

Quiñones-Novelo F.J.

Repositorio Orígen

Repositorio Institucional del INAOE

Descargas

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